超聲波物聯傳感器#農業效率《氣象支持》

　　超聲波物聯傳(chuan) 感器#農(nong) 業(ye) 效率《氣象支持》초음파물연센서 #농업효율<기상지원>氣象傳(chuan) 感器在天氣預報、高速公路、船舶航行、機場、軍(jun) 事等方麵有巨大需求，其核心技術長期被國外壟斷，嚴(yan) 重製約了我國氣象傳(chuan) 感器及其相關(guan) 行業(ye) 的發展，因此，必須解決(jue) 關(guan) 鍵技術難題：

　　複雜性，氣象傳(chuan) 感器涉及氣壓、風速風向、濕度等多種敏感原理，麵臨(lin) 複雜的設計、製造、封裝等問題;

　　可靠性，氣象傳(chuan) 感器需要長期在野外工作，麵臨(lin) 灰塵、腐蝕等惡劣環境下工作的可靠性問題。

　　在國家自然科學基金、國家863計劃等支持下，本項目係統地開展了氣象傳(chuan) 感器設計理論、關(guan) 鍵技術研究，較好解決(jue) 了上述技術難題，並成功應用於(yu) 氣象傳(chuan) 感器及其係統研製和批量生產(chan) 中。

　　主要創新如下：

　　1. 在國際上研究並提出了基於(yu) 麵積變化和介電伸縮效應的MEMS電容式氣壓傳(chuan) 感器結構，保證了傳(chuan) 感器輸出的線性度;了二氧化矽介電伸縮係數的懸臂梁測試結構，獲取了介電伸縮係數基礎數據;提出了帶微孔濾膜的電容式氣壓傳(chuan) 感器封裝方法，提高了傳(chuan) 感器環境適應性。

　　2. 了JD-WQX5風速風向傳(chuan) 感器的測溫方法和深槽隔熱結構，提出了風速風向傳(chuan) 感器的溫度自平衡測控方法，解決(jue) 了長期以來風速風向傳(chuan) 感器量程難以提高的技術難題;了風速風向傳(chuan) 感器的陶瓷圓片封裝技術，保障了傳(chuan) 感器工作的可靠性。

　　3. 了JD-WQX5濕度傳(chuan) 感器片上集成多晶矽加熱電阻結構，縮短了濕度傳(chuan) 感器的脫附時間;了氮化矽包覆鋁電的結構，有效防止了聚酰亞(ya) 胺吸水而腐蝕鋁電，突破了濕度傳(chuan) 感器長期工作穩定性的技術瓶頸。

　　4. 建立了JD-WQX5器件-封裝結構溫度效應模型，提出了微懸臂梁接觸長度的測量結構，了微懸臂梁疲勞特性的測量方法，實現了MEMS結構與(yu) 器件的溫度、濕度、振動可靠性測試和評估。

　　5. 了前向散射式能見度檢測器大氣散射信號測量技術，開發了前向散射式能見度檢測器係統。

　　獲中國授權43項;製訂國家行業(ye) 標準1項;出版英文叢(cong) 書(shu) 1章;發表論文138篇(SCI 26篇、EI 138篇)、SCI他引152次;在國內(nei) 會(hui) 議大會(hui) 報告2次、在國外會(hui) 議邀請報告2次。